武汉电子束蒸发镀膜机-沈阳鹏程真空技术公司

电子束蒸发镀膜的优势

电子束蒸发的优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。

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电子束镀膜原理

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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和e型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得---的能量密度，武汉电子束蒸发镀膜机，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，电子束蒸发镀膜机，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率较高。但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。